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MASK AOI
发布时间:2025-02-21 18:48 作者:admin 次数:次
详细介绍
适用基于8.6G代线MASK AOI;精度5.0 [um];节拍180.0 [sec] Mask检测单元、查看/回看单元3D激光测量单元、激光修复单元
关 键 特 征
MASK检测
-OMM和FMM类型都可以进行检查
-包括自动缺陷激光修复(ADR)功能
-包括手动缺陷激光修复和缺陷重新判断功能
-包括3D高度测量和3D轮廓功能
(包括通用AOI规范)
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