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EVEN TFE AOI
发布时间：2025-02-21 18:53 作者：admin 次数：次
详细介绍
适用基于 8.6G代线 EVEN TFE AOI; 精度 2.0 [um]；节拍 90.0 [sec] Micro 检测单元（B/F）、Micro 检测单元2（D/F）回看单元、WSI单元
关 键 特 征
Micro CVD 检测
-为CVD薄膜内部颗粒检测，增加特定的暗场 光学组件。
WSI高度测量和CVD缺陷检查
-检查CVD阴影缺陷（取样），自动更改取样 位置。CVD颗粒高度的自动测量。
关 键 特 征
Micro CVD 检测
-为CVD薄膜内部颗粒检测，增加特定的暗场 光学组件。
WSI高度测量和CVD缺陷检查
-检查CVD阴影缺陷（取样），自动更改取样 位置。CVD颗粒高度的自动测量。
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